浅谈多晶硅生产过程中屏蔽泵故障原因分析及处置措施
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浅谈多晶硅生产过程中屏蔽泵故障原因分析及处置措施

屏蔽泵是在化工系统应用比较广泛的设备,主要用于输送易燃易爆有毒有害介质,多晶硅生产过程中应用广泛,但是在实际使用过程中, 由于硅粉、气缚、气蚀等现象,造成屏蔽泵经常容易出现故障,本文就屏蔽泵在使用过程中典型故障及预防措施进行分析。

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